⑴發(fā)生器原料氣體不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環(huán)境內(nèi)發(fā)生反應(yīng)，從而對設(shè)備安全造成危害或損壞的物質(zhì)。

　　*，爆炸的三要素是燃料、氧化劑和火種，而臭氧發(fā)生器的電暈環(huán)境中已存在兩項，即氧化劑和火種。因此必須防止在原料氣體中含有烴類燃料物質(zhì)；如果有可能存在烴類物質(zhì)，必須安裝烴類分析儀，以便當(dāng)烴類濃度接近爆炸下限（LEl）的25%時切斷電源。

　　碳氟化合物，如特氟隆或冷卻劑都可在電暈中分解形成氟，后者能侵蝕玻璃介電材料，可加速介電體損壞。圍繞在電暈室外面的循環(huán)冷卻流體有可能通過密封泄漏并進入電暈空間，結(jié)果在介電體表面形成一層漆類，涂層。當(dāng)發(fā)生這種情況時，由于這種涂層降低臭氧生產(chǎn)的效率，介電體必須定期予以清洗。

　　另外，原料氣還應(yīng)濾除5μm左右的顆粒，以防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發(fā)生器電暈區(qū)。以免影響電暈效率。

　　⑵供氣壓力不能無控制地改變，由于氣壓影響電暈功率誘導(dǎo)和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化會使發(fā)生器運行不可靠。超出電暈功率范圍可造成熔斷器或自動斷電器斷開。超出外加電壓峰值還能造成介電體過早失效。

　　⑶臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計時，必須能防止大量水進入到發(fā)生器內(nèi)。

　　水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進水可導(dǎo)致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)必須在繼續(xù)運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設(shè)計和操作規(guī)程必須阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發(fā)生器內(nèi)。

　　⑷冷卻水的水質(zhì)要好，防止結(jié)垢，以免影響發(fā)生器的散熱效果。

　　二對水冷發(fā)生器采說，為使傳熱表面的結(jié)垢少，冷卻水的水質(zhì)十分重要。結(jié)垢會使傳熱效率降低，從而減少臭氧產(chǎn)量，增加維護費用。在技術(shù)上自來水是被優(yōu)先選擇的冷卻劑，不過，對大型工業(yè)用發(fā)生器所需要的耗水量來說，使用自來水經(jīng)濟上毫無吸引力，也許只有發(fā)生系統(tǒng)用在水處理廠的情況除外。與自來水水質(zhì)相反，一般處理后的污水作為冷卻水，效果不是很好，因為它容易導(dǎo)致結(jié)垢。如果高質(zhì)量的水或其他流體用在密封的十次冷卻回路中，末級熱交換器又是專門設(shè)計得少結(jié)垢；且便于清洗，而且污水出水還可以作為末級散熱使用。為了水費和設(shè)備維護費之間的平衡，系統(tǒng)設(shè)計時多數(shù)采用冷卻塔水或熱交換器飲用水（無懸浮固體、氯化物<5mg/L）。

　　⑸對于氣冷卻發(fā)生器來說，冷卻空氣必須無潮氣、雜質(zhì)、腐蝕性、氣溶膠、油質(zhì)或?qū)щ娢镔|(zhì)以及可見粉塵。正常情況下，除非處在一個極度多塵的工業(yè)大氣環(huán)境內(nèi)，空氣多半是不需要過濾處理的。